LG디스플레이가 일본산에 의존해온 불화수소를 국산으로 100% 대체한 것으로 확인됐다. 일본 정부가 지난 7월 4일 수출 규제를 시행한 지 100여일 만이다.
LG디스플레이 관계자는 14일 "디스플레이 생산에 들어가는 액체 불화수소를 최근 전부 국산으로 대체했다"고 밝혔다. 파주와 구미 등 국내 OLED(유기발광다이오드)·LCD(액정표시장치) 생산 라인에 들어가는 액체 불화수소를 일본산 대신 국산 제품으로 투입하고 있다는 것이다.
패널 제조 공정에 투입하는 불화수소는 반도체용 공정에 들어가는 것보다는 순도가 낮다. ㎚(1㎚는 10억분의 1m) 단위의 미세한 공정을 처리하는 반도체와 달리 디스플레이 패널은 미세 공정 수준이 높지 않아 상대적으로 순도가 낮은 불화수소로 식각·세정 공정을 처리할 수 있다. 이 때문에 반도체 업계는 아직 액체 불화수소 대부분을 일본 업체에 의존하고 있는 상황이다.
삼성전자와 SK하이닉스는 최근 일부 공정에서 일본산 대신 국내 업체가 수입한 대만 및 중국산 불화수소를 투입하기 시작했다. 일본은 반도체 공정용 기체 불화수소는 일부 수출 허가를 내줬지만 액체 불화수소는 수출 규제를 시작한 이후 아직 한 건도 수출 허가를 내주지 않고 있다.
최인준 기자(pen@chosun.com)
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