31일 니혼게이자이신문(닛케이) 등에 따르면 일본 정부는 첨단 반도체 장비 등 23개 품목을 수출관리 규제 대상에 추가한다고 발표했다. 일본은 외환법에 근거해 군사 전용이 가능한 품목을 관리하고 있다. 이 법의 하위 규정을 개정해 23개 품목을 추가하고, 이에 따라 이들 품목을 수출할 때는 경제산업상의 허가가 필요하게 된다.
일본 정부는 5월에 개정안을 공포하고 7월에 시행하는 것을 목표로 하고 있다. 새로 추가되는 23개 품목에는 정밀한 회로 패턴을 그려내는 노광장치, 식각·세정·검사 등에 사용하는 장치 등이 포함된 것으로 전해졌다. 특히 극자외선(EUV) 관련 제품의 제조장치도 포함된 것으로 알려졌다. 회로선폭 10~14나노(㎚·10억분의 1m) 이하 첨단 반도체 제조에 활용되는 장치 등이라고 닛케이는 전했다.
일본 정부는 이번 조치에서 중국을 명시적으로 언급하지는 않았으나 작년 10월 중국 반도체 생산기업에 첨단 반도체 장비 판매를 금지하는 등 조치를 결정한 미국과 보조를 맞췄다는 평가가 나온다. 미국은 일본과 네덜란드에 대중 반도체 장비 수출규제에 동참해 달라고 요청해 왔으며, 네덜란드는 3월 초순 반도체 기술 수출에 대한 통제를 강화한다고 밝힌 바 있다.
니시무라 야스토시 경제산업상은 이날 "군사 목적으로 용도 변경을 방지하기 위함"이라고 말했다. 닛케이는 23개 품목에 대해 "미국·한국·대만 등 42개 국가와 지역을 제외하면 수출할 때 개별 허가가 필요해 중국으로 수출하는 것이 어려워졌다"고 분석했다.
일본의 반도체 장비 수출규제로 중국이 반발할 것으로 보이며, 일본 반도체 장비업체 도쿄일렉트론 등이 영향을 받을 가능성이 있다. 니시무라 경제산업상은 "전체적인 영향은 제한적"이라고 밝혔다.
2021년 일본 반도체 제조 장비에 대한 해외 매출액은 2조9705억엔이었고, 중국 매출은 전체에서 33％에 달하는 9924억엔이었다.
[도쿄 김규식 특파원]
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