티씨케이, 와이엠씨·와이컴 상대 'SiC 링' 특허침해금지 승소

티씨케이 SiC 링

티씨케이가 와이엠씨와 와이컴을 상대로 제기했던 실리콘카바이드(SiC) 링 특허침해금지 소송에서 승소했다고 24일 밝혔다.

서울중앙지방법원 제62민사부는 티씨케이가 2020년 12월30일 제기한 소송에 대해 와이엠씨와 와이컴이 티씨케이 특허를 침해하고 있다고 지난 22일 판결했다.

대상 특허는 SiC 링의 내플라즈마성을 증대시키는 구조에 관한 것과 SiC 링 소재의 물성특성 향상에 관한 내용이다.

재판부는 와이엠씨와 와이컴의 티씨케이 특허 침해가 인정된다면서 앞으로 이와 관련된 제품 생산 및 판매활동을 해서는 안되고 특허침해에 따른 손해배상도 해야 한다고 판결했다.

SiC 링은 반도체를 만드는 건식 식각 공정에서 사용되는 소모성 부품이다. 웨이퍼를 고정하고 고출력 플라즈마로부터 가장자리를 보호하는 역할이다.

티씨케이는 2013년 세계 최초로 양산에 성공했고, 현재 시장 점유율 1위를 차지하고 있는 회사다. 와이엠씨와 와이컴은 모회사, 자회사 관계에 있는 회사로 SiC 링 리사이클 사업을 추진하다 티씨케이와 분쟁이 벌어졌다.

티씨케이는 지난 1월 와이엠씨·와이컴이 2022년 특허심판원에 청구한 특허무효 심판과 특허법원으로 이어진 특허심판원 심결 취소소송에서도 승소한 바 있다면서, 잇단 승소 판결이 다른 회사와의 소송에도 유의미한 영향을 줄 것으로 기대했다.

회사 관계자는 “특허 무단침해 기업에 단호하고 엄중하게 추가적인 법적조치를 취할 계획으로 보유한 특허들에 대한 추가적인 권리 행사도 검토 중에 있다”고 강조했다.

박진형 기자 jin@etnews.com

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