켐트로닉스, 초고순도 PGMEA 반도체대전서 공개

켐트로닉스가 차세대 반도체 소재 사업 육성에 나선다.

켐트로닉스는 3일 개막하는 반도체대전(SEDEX)에 참가해 프로필렌글리콜메틸에테르아세트산(PGMEA) 등 친환경 반도체 소재를 공개한다고 20일 밝혔다.

PGMEA는 반도체 노광 공정에 활용되는 포토레지스트(PR) 원료의 70~80%를 차지하는 용제다. 지금까지 일본과 중국 등에서 수입해 왔는데, 켐트로닉스가 국산화에 성공했다.

특히 99.999%(5N) 초고순도 PGMEA를 개발해 초미세 회로 구현에 필수인 극자외선(EUV) 노광 공정용 PR을 만드는 데 쓰일 수 있게 했다. 인체 유해 물질인 베타이성질체 농도를 1~2ppm 수준으로 낮춰 친환경성도 강화했다.

켐트로닉스는 현재 글로벌 반도체 제조 업체에 5N PGMEA를 공급하기 위해 소재를 공정에 최적화하는 품질인증 절차(PCN)를 진행하고 있다.

켐트로닉스는 반도체 소재 사업을 본격화하기 위해 브랜드도 만들었다. 친환경 뜻을 담은 'purisol(퓨리솔)'을 론칭, 앞으로 반도체 소재를 퓨리솔 PMA, 퓨리솔 PM 등 이름으로 선보일 예정이다.

켐트로닉스 관계자는 “PGMEA 생산라인을 2만5000만톤으로 확대하기 위해 신규 시설을 증설하고 있으며 2024년 12월 말 준공 예정”이라고 전했다.

김영호 기자 lloydmind@etnews.com

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