"TSMC, ASML 차세대 장비 조기 도입"…파운드리 독주 체제

"ASML, TSMC에 '하이 NA EUV' 특별가 조기 공급"

[이데일리 김정남 기자] 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 대만 TSMC에 최신 반도체 노광장비를 더 저렴한 가격에 공급할 것으로 알려졌다. TSMC의 독주가 계속 이어질지 주목된다.

17일 중국시보 등 대만 현지언론에 따르면 ASML은 TSMC가 곧 도입할 예정인 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비인 ‘하이 뉴메리컬애퍼처(NA) EUV’에 특별 할인가를 적용할 것으로 전해졌다.

(사진=AFP 제공)

한 소식통은 “TSMC가 이달 말 이전에 북부 신주 공장에 설치 예정인 하이 NA EUV의 공급 가격이 정상가 3억5000만유로(약 5200억원)보다 훨씬 저렴하다”며 “당초 공급 예정 시기도 알려진 것보다 1분기 이상 빠르다”고 전했다. 또 다른 소식통은 “이번 공급가 할인은 TSMC의 1.6나노 공정을 이용한 제품의 고객사 주문 수량과 관계가 있다”고 했다.

ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 독점 생산하는 기업이다. ASML의 장비를 받기 위해 반도체 기업들이 줄을 서 있을 정도다. 특히 하이 NA EUV는 반도체 회로를 더 세밀하게 그릴 수 있는 ASML 차세대 장비다.

이에 따라 TSMC가 당분간 파운드리 시장에서 독주 체제를 이어갈 것이라는 관측이 나온다. 1나노대 첨단 공정 기술 경쟁을 벌이고 있는 인텔의 경우 파운드리 매각설까지 나올 정도로 회사 사정이 좋지 않다.