TSMC·삼성 이어 인텔도 일본에 연구거점 만든다

글로벌 연구기관 유치위해 막대한 보조금 지원

EUV 노광장비 들여와…인텔로부터 기술 전수

일본 소재·장치기업 연구하기 쉬워져

전략물자가 된 반도체, 공급망 내셔널리즘으로 이전 어려워져

조 바이든(오른쪽) 미국 대통령과 팻 겔싱거 인텔 최고경영자(CEO)가 3월 20일 애리조나 챈들러의 오코틸로 캠퍼스에서 와이퍼를 살펴보고 있다. [사진=AFP]

[이데일리 정다슬 기자] ‘반도체 산업 부활’을 꿈꾸고 있는 일본이 이번엔 인텔의 연구개발(R&D) 기관을 유치했다. 향후 3~5년 내 최첨단 반도체를 만들 수 있는 극자외선(EUV) 노광장비를 일본 연구기관으로서는 처음으로 들여온다. 일본 내에 있는 소재·장치회사와의 협업을 통해 자국 내에 연구 데이터를 쌓아가고 첨단 기술을 선점하겠다는 계획이다.

일본 경제신문인 니혼게이자이는 3일 인텔과 국립 연구기관인 산업기술종합연구소가 일본에 최첨단 반도체 제조장치와 소재 등의 연구개발(R&D) 거점을 일본에 설치한다고 밝혔다. 산종연이 운영 주체가 되고 인텔이 EUV를 사용한 반도체 제조 노하우 등을 제공한다. 총 투자액은 수백억엔 규모가 될 것으로 보인다.

UV 노광장비 1대의 가격은 1대에 400억엔이 넘는다. 이 때문에 일본 반도체 파운더리 회사 라피더스 정도만 EUV 노광장비를 가지고 있을 뿐, 여타 소재·장치 기업들은 일본 벨기에의 imec 등 해외 연구기관의 EUV 장치를 사용해 개발을 진행하고 있다. 이번 연구기관이 설립되면 일본 내에서도 EUV 노광장치를 사용한 시제품 제작이나 실험 등이 가능해질 것으로 보인다. 미국 연구기관과의 기술 협력이나 인재 교류도 주기적으로 추진할 예정이다.

닛케이는 반도체에 대한 수출 규제가 높아지는 시점에서 일본의 장치·소재 기업이 최첨단 기술을 늘릴 기회가 늘어날 것이라고 봤다. 미중 갈등이 치열해지는 가운데 미국은 중국으로 EUV 장치를 수출하는 것을 금지하고 있다. EUV와 관련된 장비와 소재도 심사 대상이 되기 되고 해외에서 다룬 연구의 성과나 데이터를 다른 나라로 이전시키는데에도 까다로워졌다. 일본 내 EUV 노광장비가 있으면 일본 내 있는 반도체 기업들의 연구에 큰 도움이 된다.

인텔로서도 일본 반도체 생태계와 협업관계를 더욱 강화할 수 있다. 일본에는 반도체 장비와 소재 분야에서 뛰어난 기업들이 많다. 레이저텍은 EUV 관련 검사장치에서 글로벌 100% 점유율을 가지고 있으며 JSR는 회로를 만드는 데 필요한 감광재에서 우위를 차지하고 있다.

일본은 반도체의 국내 제조능력을 강화하기 위해 해외기업 유치에 적극적으로 나서고 있다. ‘포스트 5G기금’ 등을 만들고 일본 내에 연구개발 거점을 만들면 막대한 보조금을 지급한다.

최근 글로벌 유수의 반도체 기업들이 이같은 정책에 힘입어 일본 내 연구개발 기관을 설립하고 있다. TSMC가 2022년 6월 이바라키현 쯔쿠바시에 차세대반도체의 연구개발거점을 설립했고, 반도체 후공정을 위한 소재 개발에 나서고 있다. 삼성전자도 올해 안에 요코하라시에 연구거점을 만든다.