가우스랩스, AI 예측 솔루션 개발…SK하이닉스 '식각 공정' 적용 추진

가우스랩스가 인공지능(AI) 기술을 활용한 산업용 가상 계측 솔루션 '판옵테스 VM' 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.

판옵테스 VM은 각종 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용, 제조 공정 결과를 예측하는 솔루션이다. 직접 계측하지 않고도 반도체 등 공정 결과값을 예측, 시간과 자원을 줄일 수 있다고 회사 측은 설명했다.

가우스랩스는 SK하이닉스가 투자한 회사다. 2022년 판옵테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스가 반도체 박막 증착 공정에 이 솔루션을 적용한 바 있다. 장비 최적화 솔루션(APC)과 연동, 제품 품질 변동 수준(산포)을 약 29% 개선했다.

SK하이닉스는 이같은 성과를 바탕으로 식각 공정에도 판옵테스 VM을 적용하기로 했다. 이를 위해 가우스랩스는 예측 데이터와 앞서 진행된 공정 데이터를 모두 활용해 식각 공정의 가상 계측 정확도를 높이는 '멀티 스텝 모델링' 기능을 2.0 버전에 추가했다.

또 유사 공정 데이터를 통합해 가상 계측에 활용, 데이터 부족으로 발생할 수 있는 문제를 최소화한 '유사 공정 통합 모델링' 기능과 데이터 특성에 따른 최적 예측 알고리즘을 자동으로 선택해주는 '알고리즘 자동 선정' 기능도 추가해 가상 계측 품질과 사용자 편의를 개선했다고 전했다.

권동준 기자 djkwon@etnews.com

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