반도체 3나노 경쟁 가열… 개발 앞선 삼성·설비 먼저 도입 TSMC 조선비즈 원문 박진우 기자 입력 2020.11.30 06:00 최종수정 2020.11.30 10:48 댓글 첫 댓글을 작성해보세요 글자 크기 변경 작게 기본 크게 가장 크게 출력하기 페이스북 공유 트위터 공유 카카오톡 공유 카카오스토리 공유 주소복사 주소복사가 완료되었습니다 기사로 돌아가기