자이스, 아이멕과 파트너십 연장…“2㎚ 반도체 R&D 강화”

아이멕(IMEC) 반도체 연구소. (사진=아이멕)

독일 자이스가 유럽 최대 종합반도체연구소인 아이멕(IMEC)과 파트너십을 오는 2029년까지 연장, 2나노미터(㎚) 초미세공정 연구개발(R&D)을 강화한다.

아이멕은 20일(현지시간) 자이스와 전략적 파트너십 계약(SPA)을 체결했다고 밝혔다. 자이스와 아이멕은 지난 2019년 협력 관계를 구축한 바 있는데, 기간을 2029년까지로 늘렸다.

아이멕은 “계약 갱신으로 양 기관은 하이 뉴메리컬어퍼처(NA) 극자외선(EUV) 같은 반도체 제조 기술을 고도화할 계획”이라며 “인공지능(AI)·자율주행·에너지 전환 등 혁신 기술의 기반이 될 것”이라고 설명했다.

하이 NA는 렌즈 개구수를 뜻하는 NA가 0.55로, 기존(0.33)보다 확대된 EUV 노광 장비다. 하이 NA EUV 기술을 활용해야 2㎚ 이하 초미세회로를 구현할 수 있는데, 아이멕은 EUV 장비를 독점 생산하는 네덜란드 기업 ASML의 하이 NA 설비를 보유하고 있다.

자이스는 초미세 반도체 기술 경쟁력을 높이기 위해 자이스와 협력을 강화한 것으로 풀이된다. 아이멕은 “파트너사인 ASML이 아이멕 파일럿 라인에 노광 장비를 제공하고, 자이스는 공정·측정 기술을 향상할 수 있는 연구 프로그램에 참여할 것”이라고 부연했다.

자이스와 아이멕은 유럽연합(EU) 반도체 기술 경쟁력 회복도 적극 추진하겠다고 밝혔다. 루크 반 덴 호브 아이멕 회장 겸 최고경영자(CEO)는 “자이스와 전략적 파트너십을 통해 반도체 생태계에서 유럽 리더십 위치를 강화할 수 있을 것”이라고 말했다.

1846년에 설립된 자이스는 EUV 노광 장비 광학 부품과 계측·검사 기술력을 갖춘 기업이다. 아이멕은 벨기에 연구기관으로, 세계 최대 반도체 R&D 허브로 평가된다.

이호길 기자 eagles@etnews.com

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