25일 SK하이닉스 뉴스룸에 따르면 SK하이닉스는 새로 짓고 있는 M15X 팹(fab·반도체 생산공장)과 용인 클러스터에 신규 저전력 펌프를 전량 도입할 예정이다. 펌프는 반도체 공정에서 고(高)진공 환경을 만들어 불순물을 제거하는 장비로, 반도체의 품질과 수율을 결정하는 핵심적인 역할을 한다. 펌프 구동을 위해 사용되는 전력은 팹 전체 소비 전력의 15% 내외다.
SK하이닉스는 2022년 연구·제조·설비·환경·구매 등 각 분야 기술 인력으로 구성된 '탄소관리위원회'를 출범하고 12개의 세부 분과를 통해 2050년 넷제로 달성을 위한 온실가스 배출 저감 활동을 추진하고 있다.
저전력 펌프 도입 분과는 모터, 소재, 구조 등의 변경 등을 통해 신규 저전력 펌프 개발에 성공했다. SK하이닉스는 신규 저전력 펌프 도입을 위해 1·4분기부터 평가를 시작한 데 이어 3·4분기부터 신규 투자를 통해 기존 운영 중인 팹에 도입하고 있다고 설명했다. 추후 신규 저전력 펌프 도입을 더욱 확대할 계획이다.
식각공정의 펌프 용량을 기존 3만ℓ에서 2만ℓ로 줄여도 반도체 품질과 수율에 큰 차이가 없다는 평가 결과를 도출하고, 3·4분기부터 진행된 식각공정 신규 투자에는 저전력 펌프를 도입하는 것뿐 아니라 펌프 용량까지 줄여 저전력 효과를 극대화하고 있다. 현재 지어지는 신규 팹의 경우 기존 운영 중인 M14 팹의 메인 프로세스 공정 기준으로 전력 소비량을 추산하면, 기존 펌프 사용시 전력 소비량 대비 39.7%가량 저감할 수 있다.
박소연 기자
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