NSPGD1는 MEMS 센서 칩으로 측정 범위는 -10kPa에서 10kPa까지이며, 압력에 민감한 소자 재료와 호환되는 비부식성 가스 게이지 측정 및 비접촉식 액위 측정에 사용된다. 세탁기, 정수기, 식기세척기 등 가전제품의 액위 측정 및 산업 제어, 사물 인터넷 등 분야의 압력 측정에 적용되는 동시에 마사지 의자, 스마트 혈압계, 산소 제조기 등 의료 전자 설비에도 사용할 수 있다.
제품 특유의 주파수 출력 모드와 5.45mm 직경 에어콕은 기존의 기계식 액위 센서를 직접 대체하는 데 편리를 제공함으로써 세탁기 등 설비의 액위 측정 기능을 업그레이드한다.
집적식 압력 센서는 에어콕이 장착된 DIP 8 패키지 형식을 채택하고, 정면 공기 흡입을 지원하며 쉽게 막히지 않고, 칩 내부에 방수 및 방습 처리를 하여 높은 신뢰성과 응력 제거 특성을 구비함으로써 제품의 우수한 성능과 신뢰성을 보장하는 동시에 고객의 용접 및 사용에 편리를 제공한다.
NSPGD1 시리즈는 출하 전 온도 보상을 거쳐 내부 조절을 통해 0℃에서 70℃의 범위에서 1.5%F.S 규격을 만족시키는 정확한 출력을 제공한다. 고객이 쉽게 센서 교정을 할 수 있어 업체의 제품 연구개발 및 양산 과정 기간을 단축할 수 있다.
기존 가전제품의 액위 측정은 비교적 선형성이 떨어지고, 로트 간의 일치성도 좋지 않으며, 온도 보상 능력을 갖추지 못한다. 비교적 높은 집적도를 가지고 있으며, 아날로그 출력으로 구성할 때 주변 회로는 단지 하나의 커패시터만 필요하여 기존 방안에 비해 약 10개의 주변 부품을 줄임으로써 전체 방안의 크기와 원가를 효과적으로 낮출 수 있다.
한편, 노보센스는 NSPGD1에 이어 -100kPa에서 200kPa까지의 더 큰 압력 측정 범위를 커버하는 에어콕이 장탁된 게이지 압력 집적식 MEMS 센서 칩 제품 및 잔압 측정에 적용되는 이중 에어콕 마이크로 차압 집적식 MEMS 센서 칩을 출시할 예정이다.
조정형 기자 jenie@etnews.com
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