ASM, 첨단 SiC용 에피택시 설비 'PE2O8 시스템' 출시

[디지털데일리 고성현 기자] ASM(대표 벤자민 로)이 첨단 실리콘카바이드(SiC)용 듀얼 챔버 플랫폼 'PE2O8 SiC 에피택시 시스템(이하 PE2O8 시스템)을 출시했다고 31일 밝혔다.

PE2O8은 높은 공정 균일성과 생산성, 낮은 운영비용 및 정밀한 결함(defect) 관리가 특징인 대표적인 에피택시 시스템이다. ASM은 최근 전기차, 친환경 에너지, 데이터센터 등 고전력·고효율 기술을 요하는 수요가 높아지면서 부각받는 SiC 전력반도체의 필요성에 따라 해당 설비를 출시했다.

ASM의 PE2O8 시스템은 6인치와 8인치 웨이퍼를 호환 지원하는 에피택시 공정 설비다. 이는 웨이퍼 위 초고순도 결정막(Epitaxy)을 성장시켜 SiC 등 화합물반도체용 웨이퍼를 만드는 공정에 활용된다.

ASM은 이 시스템이 SiC 초정밀 제어 기술과 높은 공정 균일성으로 SiC를 증착, 수율·처리량을 늘리고 총 운영비용을 절감한다고 설명했다. 아울러 사고 예방적 유지보수 가능을 통해 가동 시간을 늘려 예상치 못한 시스템 중단을 줄였다. ASM은 해당 제품을 SiC 전력 소자 제조 부문 선두기업을 포함해 전세계 고객사 대상으로 제공 중이다.

스티븐 라이터(Steven Reiter) ASM 플라즈마 및 Epi 사업부 총괄 겸 부사장은 "최근 고객 기업들이 6인치에서 8인치 웨이퍼 제조 방식으로 전환하면서 ASM은 실리콘 카바이드 전력 제품 부문의 중요한 변곡점에 서있다"며 "이번 PE2O8 시스템 출시를 통해 공정 관리 기술을 더욱 향상시키고 고객의 소유 비용을 절감함으로써 우리 시스템 역량을 한번 더 높였다"고 말했다.

이영석 ASM코리아 대표는 "국내에서도 전기차 및 친환경 에너지 시장이 더욱 성장하고 있는 만큼, 원자층 증착기술(ALD)과 더불어 에피택시 기술은 ASM코리아에서도 중점적으로 다루고 있는 영역"이라며 "이번 신규 PE2O8 출시를 통해 포트폴리오를 더욱 확장할 수 있어 매우 기쁘고, 향후 이를 바탕으로 국내 고객사들의 더욱 다양한 니즈를 만족시킬 수 있도록 최선을 다할 것"이라고 전했다.

한편 ASM코리아는 현재 경기 화성 동탄에 R&D센터와 제조 공장을 운영하고 있으며, 주력 제품인 원자층증착(ALD) 장비를 포함해 플라즈마원자층증착(PEALD), 에피택시 제품 생산·원천기술 연구를 진행 중이다.

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