"삼성전자, 반도체 지속가능성 위해 친환경 탄소 포집기술 개발"

황경순 SAIT 에어사이언스 리서치센터장, CCU·배출가스 저감 기술 소개

발표하는 황경순 삼성전자 부사장 [한국화학공학회 제공. 재판매 및 DB 금지]

(부산=연합뉴스) 조승한 기자 = "기존 탄소 포집 기술은 공간을 많이 쓰고 인체 유해한 물질도 나올 수 있어 도심 한복판 반도체 사업장에 맞지 않습니다. 이를 친환경화·소형화해 넣을 수 있는 기술을 개발하는 게 목표입니다."

황경순 삼성전자[005930] SAIT(옛 삼성종합기술원) 에어사이언스 리서치센터장(부사장)은 18일 부산 벡스코에서 열린 한국화학공학회 추계학술대회에 기조강연자로 나서 반도체의 지속가능성을 위한 센터의 비전을 소개했다.

에어사이언스 리서치센터는 2022년 SAIT 내 미세먼지연구소와 탄소포집활용센터를 합해 설립됐다. 탄소중립 분야 권위자인 황 센터장은 미국 텍사스대 교수직을 휴직하고 지난해 6월 부임했다.

그는 환경적 지속가능성이 기업들의 화두가 되며 글로벌 거대 기술기업들이 2030년 탄소중립을 선언하고 있는 가운데 일부는 삼성에도 무형의 압력이 되고 있다고 전했다.

삼성도 2022년 신환경경영전략을 발표하고 2050년 탄소중립을 선언했으며 반도체 업계 최초로 탄소 포집 관련 센터를 구축하는 등 관련 기술들을 개발하고 있다고 그는 설명했다.

황 센터장은 "배출되는 탄소를 포집해 활용하고, 오염물질을 2040년까지 자연 상태 수준으로 배출하는 어려운 목표를 세웠다"며 "기존 기술들이 한계가 있어 이를 이루기 어려운 만큼 거기에 맞는 기술을 개발하는 역할을 부여받았다"고 말했다.

배출가스 저감 부문에는 삼성전자가 쓰고 있는 공정가스 통합처리시설 RCS의 불소 함유 가스 제거율은 현행 95%에서 100%로 높이고, 질소산화물(NOx) 배출농도는 20ppm에서 0.03ppm까지 낮추는 것이 목표라고 그는 소개했다.

또 공정 과정에서 가스가 나오는 즉시 곧바로 플라스마를 써 가스를 제거하는 'POU' 기술 개발과 함께 이를 RCS와 복합화하는 연구도 진행 중이라고 그는 덧붙였다.

수소 분야에서는 중국이 장악한 알칼리 수전해 기술과 비싼 촉매를 쓰는 PEM 방식 대신 고체산화물수전해(SOEC) 기술 개발에 집중하며 전극 계면과 촉매 열화 문제를 해결하는 연구를 주로 수행하고 있다고 그는 밝혔다.

황 센터장은 "CCU(탄소 포집·활용) 기술을 개발해 반도체 사업장뿐 아니라 전 사업장과 협력사까지 확대할 것"이라며 "또 관련 기술로 신사업 창출 지원, 디바이스솔루션(DS) 사업 경쟁력 강화를 넘어 사회공헌에도 역할을 하겠다"고 말했다.

지속가능성을 위한 반도체 로드맵 주제로 발표하는 황경순 부사장 [한국화학공학회 제공. 재판매 및 DB 금지]

shjo@yna.co.kr

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