이날 니혼게이자이신문(닛케이) 등 일본 현지 언론에 따르면 경제산업성은 군사 전용 가능 제품의 수출 관리 근거인 외환법과 관련한 시행령을 개정해 23일부터 첨단 반도체 제조에 필요한 노광·세정 장비 등 23개 품목을 수출 관리 규제 대상에 추가했다. 이에 따라 미국, 한국, 대만 등 42개 우호국에 대해서는 포괄적 허가가 적용되지만, 중국을 포함한 그 외 국가·지역에 대해서는 해당 장비를 수출할 때 경제산업상의 개별 허가를 받아야 된다.
일본 경제산업성은 이번 조치에 대해 '군사 목적의 전용을 방지하기 위한 것으로 특정 나라를 염두에 둔 것은 아니다'고 밝혔다. 하지만 사실상 중국을 염두에 둔 조치이며 미국의 대중국 반도체 포위망에 일본이 가담했다는 분석이 나온다. 이번 수출 규제 강화 대상에는 노광 장치, 식각·세정·검사 등에 사용하는 장치 등이 포함됐다. 특히 첨단 반도체 제조에 활용될 수 있는 극자외선(EUV) 관련 제품의 제조 장치도 포함됐다.
日, 반도체 공업용수 시설에도 보조금
이번 규제 대상은 회로선폭 10~14나노미터(㎚·1㎚는 10억분의 1ｍ) 이하 첨단 반도체 제조에 활용되는 장치 등이라고 현지 언론들이 분석했다. 어떤 일본 기업이 해당될 것이라는 구체적인 공표는 없었지만 도쿄일렉트론 등 10여 개사가 적용받게 되고, 관련 수출에도 영향이 있을 것이라는 전망이 일본 언론에서 나온다. 이번 수출 규제 대상에 자동차·가전 등에 사용되는 레거시 반도체(구세대 반도체)는 포함되지 않았다.
일본 반도체 장비 업계에서 가장 큰 거래처는 중국이다. 작년 일본의 반도체 제조 장비 수출 규모는 4조652억엔이었고 이 중 30%가량이 중국 대상이었다. 또 국제무역센터에 따르면 작년 중국의 반도체 장비·장치 수입 비중에서 일본이 30%로 가장 높았고 미국은 15%였다. 미국과 일본 등의 조치에 대해 중국은 반발하고 있다.
일본 내에 지어지는 반도체 공장을 대상으로 지원금 제도를 운영하는 데 더해 반도체 생산에 필수적인 공업용수 시설에도 보조금 지급을 재개하기로 했다. 닛케이에 따르면 경제산업성은 반도체 공장의 유치를 지원하기 위해 보조금 요강을 개정하고 공업용수 시설 정비 등에 대한 보조금 지급을 8년 만에 다시 시행하기로 했다.
[도쿄 김규식 특파원]
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