티로보틱스, 차세대 OLED 증착공정 로봇 개발과제 주관

[머니투데이 이민하 기자]

티로보틱스는 정부가 추진 중인 '8.5세대 유기발광다이오드(OLED) 증착공정용 고가반하중 장거리 이송용 진공로봇 시스템 기술개발' 과제의 총괄 및 2세부 과제 주관기관으로 선정됐다고 6일 밝혔다.

이번 국책과제는 산업통상자원부가 소재·부품 기술 개발사업의 일환으로 추진하는 내용이다. 개발기간은 올해 4월 1일부터 2024년 12월 31일 까지 45개월이다. 총 과제 사업비는 215억원으로 이 가운데 정부 출연금은 169억원이다.

진공로봇의 핵심부품인 자성유체 진공씰과 고출력 구동 및 제어시스템이 각각 '1, 3 세부과제'에서 개발된다. 이를 통합한 진공로봇 시스템은 티로보틱스가 주관하는 '2 세부과제'에서 맡는다.

티로보틱스는 이번 과제로 대면적 OLED에 필요한 솔루션과 운반 진공로봇 기술들을 세계적인 수준으로 향상시킬 수 있을 것으로 기대했다.

회사 측 관계자는 "코로나19(COVID-19)로 재택근무, 비대면 업무가 늘면서 OLED 제조도 대형화되는 추세"라며 "현재 OLED 증착기는 6세대 수준으로, 8.5세대의 증착공정장비가 개발단계에 있다"고 설명했다.

이어 "증착공정장비에는 OLED 패널과 함께 마스크도 함께 운반해 주는 진공로봇이 필요한데, 6세대(80kg/5m) 이송보다 빠른 속도(350kg/7m) 이송이 요구된다"며 "현재 6세대 이송 진공로봇은 일본이 독점 중인데, 이번 과제를 통해 국내 기술로 세계 최고수준의 로봇을 개발할 수 있을 것으로 기대한다"고 덧붙였다.

한편, 티로보틱스는 2012년 OLED용 진공로봇을 순수 국내기술로 개발하는 국책과제를 수행한 바 있다. 국내 최초로 반도체 및 디스플레이용 진공로봇을 개발 생산하고 있다.

이민하 기자 minhari@mt.co.kr

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