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07.04 (목)

박재근 교수 "'삼성전자 포토레지스트 대체 조달 루트 확보' 日 기사는 엉터리"

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"기자와 통화하거나 만난 적 없는데 내 말 인용한 '완전한 오보'"라고 지적

세계일보

7일 서울 서초구 엘타워에서 열린 한국과학기술단체총연합회과 한국공학한림원, 한국과학기술한림원이 공동 주최한 ‘일본 수출규제에 대한 과학기술계 대응방안’ 토론회에서 박재근 한국반도체디스플레이기술학회장(한양대 융합전자공학부 교수)이 발표하고 있다. 한국과학기술한림원 제공


삼성전자가 일본 정부의 수출 규제 품목인 반도체 핵심 부품 포토레지스트(감광액)의 대체 조달 루트를 벨기에 업체에서 확보했다는 일본 니혼게이자이(닛케이) 신문의 보도 출처로 인용된 한국의 전문가가 이를 정면 부인했다.

한국반도체디스플레이기술학회장을 맡고 있는 박재근 한양대 교수는 11일 연합뉴스와 통화해 ”닛케이 기자와 통화하거나 만난 적이 없는데 제 말을 인용해 삼성전자가 포토레지스트 공급원으로 벨기에 업체를 확보한 것처럼 기사가 나갔다”며 ‘완전한 오보’라고 지적했다.

박 교수는 이어 “지난 9일 오후 회의 중 비서를 통해 닛케이 기자가 다른 언론에 난 기사와 관련해 문의하고 싶다는 얘기를 듣고 해당 언론사에 직접 물어보라고 한 것이 전부”라며 ”그런데 내가 말한 것처럼 문제의 기사가 작성됐다”고 설명했다.

세계일보

닛케이 아시안 리뷰 캡처


니혼게이자이 신문이 발행하는 영어판 비즈니스 잡지 닛케이 아시안 리뷰는 전날 인터넷판에 올린 ’삼성, 일본 정부 수출 통제 맞서 벨기에서 핵심 칩 공급원 확보’(Samsung secures key chip supply in Belgium as Tokyo curbs exports)라는 제목의 기사(사진)에서 박 교수를 인용해 ”삼성전자가 벨기에에 소재한 한 업체에서 포토레지스트를 조달하고 있다”고 전했다.

포토레지스트는 앞서 일본 경제산업성이 지난달 4일부터 한국에 대한 1차 수출규제를 가한 대상 3개 중 하나이며, 이후 지난 8일 첫번째로 수출 허가가 나온 품목이기도 하다.

삼성전자는 최첨단 반도체 칩 제조 공정에서 기판인 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 이 화학물질을 사용하고 있다.

이 매체는 박 교수가 벨기에 공급업체 이름을 공개하지 않았지만, 일본 기업 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인 EUV 레지스트일 것으로 추정했다.

이 합작회사의 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR 마이크로다.

닛케이 아시안 리뷰는 JSR 사정에 밝은 한 소식통이 일본 정부의 수출 규제 조치가 발표된 후인 지난 7월 중순 ”우리는 벨기에 합작법인을 통해 삼성에 포토레지스트를 공급할 것…이라고 말했다면서 박 교수의 언급은 이 말을 뒷받침한다고 전했다.

모 매체인 니혼게이자이 신문은 이 기사를 받아 11일자 일본어판 지면에 게재하고, 자세한 내용은 닛케이 아시안 리뷰 기사를 참고하라는 설명까지 붙였다.

그러면서 삼성전자가 포토레지스트 대체 공급원을 확보함으로써 일본 정부의 수출 규제가 미치는 영향이 제한적일 것이라는 박 교수의 말까지 소개했다.

이에 박 교수는 ”엉터리 기사가 나갔다”며 “황당할 따름”이라고 보도를 부인했다.

아울러 “닛케이가 거론한 내용은 사실 여부를 떠나 기업의 영업 비밀에 해당할 수 있다”며 이 같은 업계 사정을 잘 아는 자신이 그런 말을 절대로 할 수가 없다고 강조했다.

박 교수는 닛케이 측에 오보를 정정해 달라고 공식 요청했다고 덧붙였다.

양봉식 기자 yangbs@segye.com

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