유진테크, 獨엑시트론 반도체 증착장비 사업 인수… 포트폴리오 확대

엄평용 유진테크 대표와 김 슈힌델하우어 엑시트론 CEO가 사업 매입 매각 계약서를 들어보이고 있다.

유진테크가 독일 엑시트론의 반도체 장비 사업군을 인수한다. 국내 업체가 해외 유력 장비 사업군을 인수합병(M&A)한 것은 이번이 첫 사례다. 유진테크는 이번 인수로 장비 포트폴리오와 매출을 확대할 수 있게 됐다고 설명했다.

25일 유진테크는 100% 자회사 미국 유진테크놀로지를 통해 엑시트론의 화학기상증착(CVD), 원자층증착(ALD) 장비 사업군을 인수한다고 밝혔다. 인수액은 600억원 내외다.

독일에 본사를 둔 엑시트론의 주력 사업은 발광다이오드(LED) 칩 생산용 유기금속화학증착(MOCVD) 장비다. 2004년 7월 미국 지너스를 인수, 미국 엑시트론 법인에서 반도체 생산용 CVD, ALD 장비 사업을 펼쳐왔다.

엑시트론의 CVD, ALD 장비는 메모리 생산 공정에서 각각 텅스텐 전극 형성과 고유전율(하이-K) 물질을 증착하는 데 쓰인다. 모두 유진테크가 보유하지 않았던 장비군이다. 엑시트론은 이들 장비 사업에서 연간 약 4000만달러(약 440억원) 매출을 내고 있다. 삼성전자 메모리사업부가 주요 고객사다.

유진테크는 이번 인수를 통해 메탈 증착 장비군으로 사업 포트폴리오를 넓힐 수 있게 됐다고 설명했다. 특히 하이-K 증착을 맡는 ALD 장비에 거는 기대가 크다. 최근 공정 미세화로 ALD 장비 수요가 늘고 있기 때문이다. 삼성전자는 D램 하이-K 공정에서 어플라이드머티어리얼즈, 램리서치, 엑시트론, 원익IPS ALD 장비를 사용한다. SK하이닉스는 주성엔지니어링 장비를 사서 쓴다. 유진테크는 그간 다져온 영업, 기술력을 기반으로 국내 고객사 매출 확대 전략을 펼칠 것으로 보인다.

2000년 설립된 유진테크는 지난해 매출 1410억원, 영업이익 364억원의 실적을 올렸다. 지난해 매출액 비중은 삼성전자 51%, SK하이닉스가 49%, 나머지 1%가 대만 윈본드였다. 회사는 최근 반도체 시장이 '빅사이클'에 진입하는 초기 단계라는 평가를 내리고 과감하게 M&A를 추진한 것으로 알려졌다.

엄평용 유진테크 대표는 “반도체 증착장비 분야에서 유진테크가 축적해온 기술력에 더해 미국 실리콘밸리에 추가 연구시설과 해외 마케팅 거점을 확보하게 됐다”면서 “인수 효과가 본격화하는 시점부터 큰 폭의 성장을 기대한다”고 말했다.

이번 거래는 미국 외국인투자심의위원회(CFIUS)를 포함한 규제 당국의 승인을 받아야 종료된다. 유진테크와 엑시트론은 올 하반기 거래를 마칠 수 있을 것으로 예상했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com

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