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시원광기술의 고배율 대면적 TDI 광학계. |
시원광기술(대표 김일목)은 반도체 검사장비 등에 사용되는 고배율 대면적 TDI(Time Delayed Integration) 광학계를 개발, 양산한다고 27일 밝혔다.
양산 제품은 82㎜사이즈 CCD센서에 최적화된 제품으로 광학배율 5배 대물렌즈, 7.5배 대물렌즈, 대물렌즈와 함께 사용되는 튜브렌즈 등이다. 반도체 후공정 비전(Vision) 검사 장비 등에 사용되는 핵심부품으로 부품소형화와 고집적화에 따라 채택이 증가하고 있다.
무한보정 결상광학계로 구성되어 배율 조정시 대물렌즈를 교체해도 초점을 재조정할 필요가 없다. 일반 매크로광학계는 광학계 전체를 이동해 오토포커싱을 하는 반면 앞쪽 대물렌즈만 이동해 오토포커싱할 수 있으므로 무게 부담을 줄일 수 있다.
시원광기술은 7.5배는 50세트 양산을 완료했으며 5배와 튜브렌즈는 6월 양산 완료할 예정이다.
김일목 대표는 “반도체 장비회사 여러 곳에서 발주 및 제품문의가 잇따르고 있다”며 “3배, 10배 등 대물렌즈를 추가 개발해 제품 다양성을 확보하고 자외선과 적외선 등으로 적용범위를 더욱 확장할 계획”이라고 밝혔다.
권상희 기자 shkwon@etnews.com
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