반도체 불화수소 ‘탈일본’ 가시화…표준연, 품질평가 시작

- 15억원 투자해 실험실 완공…日 독점체제 탈피 기대

[디지털데일리 김도현기자] 국내 연구진이 반도체용 불화수소 국산화에 속도를 높인다. 해당 소재는 지난해 일본 수출규제 제재 품목에 오른 바 있다.

22일 한국표준과학연구원(원장 박현민)은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공했다고 밝혔다. 20여종에 대해 시험검사 서비스를 진행할 예정이다. 불화수소가 가장 먼저 실시된다.

불화수소는 실리콘웨이퍼의 세정과 식각공정 등에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도 불화수소가 필수적이다. 다만 일본 쇼와덴코, 모리타, 스텔라케미파 등 일본의존도가 높은 품목이다.

국내에서는 SK머티리얼즈, 솔브레인, 램테크놀러지 등이 불화수소 사업에 뛰어들었다. 아직 일본산 대비 품질이 떨어지지만 점점 높여가는 단계다.

표준연은 이들 업체를 지원한다. 일본의 핵심소재 수출규제 대응 차원에서 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해왔다. 분석 장비비 8억, 시설 구축비 7억 등 긴급 자체 예산 15억을 사용해 실험실을 완공했다.

이번 실험실 구축으로 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험이 가능해졌다. 국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 업계의 경쟁력 향상이 기대된다.

박현민 원장은 '지난해 하반기부터 '일본 수출규제 적극대응 위원회'를 운영하며 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등을 지원해 왔다'며 '표준연이 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지할 것'이라고 강조했다.

한편 국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라서 표준화돼 있지 않다. 표준연에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실을 마련, 이를 해결할 수 있게 됐다. 사용되는 측정기술과 표준물질을 표준연에서 자체 개발했다는 점도 의의가 있다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr

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