주재욱 수석은 반도체 미세 패턴의 정확한 배열을 위한 오류 제어 방법을 개발해 한국 반도체 산업 성장에 기여한 공로가 인정돼 수상자로 선정됐다.
최근 몇 년 사이 D램 반도체 회로 선폭이 20나노미터(㎚, 10억분의 1m) 이하 수준으로 미세 공정이 발전하면서 오버레이(레이어 간 적층 위치 오차) 측정 결과와 소자의 오버레이 사이에 수 ㎚의 불규칙한 차이가 존재함이 밝혀졌고, 이로 인해 수율과 생산성에 어려움이 발생했다.
주 수석은 오차 수준을 개선하는 자동 보정 시스템을 개발해 20㎚대와 10㎚ 후반대 D램 제품의 수율 개선과 생산성 향상에 기여했다.
주 수석은 "새로운 도전에 함께한 모든 구성원에게 감사를 전하고, 앞으로 대한민국 반도체 산업이 국가 기반 산업으로 지속 발전할 수 있도록 노력하겠다"고 말했다.
위세황 대표는 다품종 소량생산으로 수요가 증가하는 포장 용기 분야에서 제품 안정성과 보존성을 향상할 수 있는 용기 밀봉재를 개발해 국내 패키징 산업 성장에 기여한 공로가 인정돼 수상자로 선정됐다.
위 대표는 30년간 꾸준한 연구개발을 통해 고온,고압에 강하며 손잡이가 있어 개봉이 편리하고 개봉 후에도 밀봉재 일부가 용기 입구에 남아 캡을 닫으면 밀봉성이 유지되는 링필라이너(Ring Peel Liner)를 개발해 국내외 특허를 획득했다. 이 기술은 세계적인 패키징 기업 압타그 그룹과의 국제 특허 소송에서도 승소하는 등 기술력을 입증받았다.
위 대표는 "현재에 만족하지 않고 앞으로 세계 시장에서 기술을 선도할 수 있도록 계속 노력하겠다"고 말했다.
IT조선 노동균 기자 saferoh@chosunbiz.com
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