공정진단은 다양한 외부 센서 혹은 계측장치로 생산장비의 갑작스런 결함을 실시간으로 발견하거나 공정 상황을 모니터링해 생산 신뢰성을 끌어올리는 일련의 기술 혹은 과정을 의미한다. 예를 들어 반도체 생산장비의 챔버 내 부산물 누적과 이로 인한 불량 발생 여부를 실시간으로 모니터링할 수 있다면 생산성을 높일 수 있다.
이날 워크숍에는 삼성전자 반도체사업부, 삼성디스플레이, LG디스플레이 등 국내 주요 반도체 디스플레이 업체의 공정 전문가가 나와 진단 기술 개발 현황과 적용 사례, 도전 과제를 소개한다. 명지대, 연세대, 서울대의 관련 학과 교수도 각각 공정진단 분야 발표가 예정돼 있다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
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