테스는 '플라즈마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착방법'에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
테스는 "해당 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술로 하드 마스크로 사용되는 탄소막을 증착하기 위해 나노 다이아몬드 파우더가 혼합된 단일 액체 전구체를 사용함으로써, 탄소막의 응력 및 흡광계수를 종래에 비해 낮출 수 있으며 비용 절감 및 생산성을 현저히 향상시킬 수 있다"고 설명했다.
한고은 기자 doremi0@mt.co.kr
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