에프에스티, 펠리클 사업용 부지 회사 흡수합병 : zum 뉴스

경기도 오산시 가장일반산업단에 위치한 아이엠디 부지 및 건물

에프에스티가 펠리클 생산능력 확대를 목적으로 인수했던 법인을 최종 합병한다. 향후 시설투자를 통해 차세대 펠리클 생산 거점으로 육성할 전망이다.

19일 업계에 따르면 에프에스티는 최근 아이엠디 흡수합병을 결정했다. 3월23일까지 합병을 위한 모든 절차를 완료할 예정이다.

에프에스티는 칠러, 펠리클 사업을 영위하는 반도체 장비·부품 기업이다. 회사는 2024년 펠리클 사업 확대를 위해 아이엠디를 215억원에 인수했으며, 1년 5개월 만에 흡수합병을 결정했다.

아이엠디는 경기도 오산시 가장일반산업단 내 에프에스티 펠리클 사업장과 옆에 위치했다. 인근이어서 시너지 도모에 유리하다.

에프에스티는 아이엠디가 보유한 연면적 3871.34제곱미터(㎡)의 기존 3층 건물 등에 추가 설비투자를 통해 펠리클 생산 용도로 전환할 방침이다.

아이엠디 부지는 에프에스티의 펠리클 사업부가 위치한 오산사업장 부지와 인접해 있다. (출처: 네이버지도)

펠리클은 포토마스크 위에 그려진 패턴을 외부 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품이다. 에프에스티는 반도체 심자외선(DUV) 펠리클과 평판 패널 디스플레이용 펠리클을 양산해 국내 삼성전자, SK하이닉스, LG이노텍과 미국 포트로닉스 등에 공급하고 있다.

차세대 제품으로는 탄소나노튜브(CNT) 기반의 극자외선(EUV) 펠리클을 개발해 고객사 테스트 중이다. 이와 관련해 지난 2021년 삼성전자로부터 430억원을 투자받기도 했다. CNT 펠리클은 기존 펠리클 소재보다 EUV 투과율, 내열성, 내구성 등에서 우수한 게 강점이다.

에프에스티의 펠리클 연간 생산능력은 40만개로 가동률은 50~60%대 수준이다. 향후 아이엠디 부지에서의 생산능력 확대는 EUV 펠리클, 차세대 DUV 펠리클을 중심으로 이뤄질 것으로 예측된다.

회사 관계자는 “아이엠디 흡수합병은 운영 효율화를 위한 법인 통합”이라며 “고객사의 EUV 펠리클 평가는 아직 진행 중인 상태”라고 말했다.

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