KLA는 고성능 반도체 제조용 검사 장비인 '아처 750'과 '스펙트라쉐이프 11K'를 출시한다고 밝혔다.
아처 750은 반도체 칩의 각 레이어에 형성되는 패턴이 이전 층 형상과 제대로 정렬이 이뤄지는지 검증하는 장비다. 인라인에서 공정 이탈점을 파악하고 패터닝 완성도를 향상시켜 D램과 3D 낸드 수율 개선과 양산을 지원한다.
스펙트라쉐이프 11K는 트랜지스터와 메모리 셀 등의 3D 구조를 모니터링한다. 웨이퍼 형상, 구조, 소재를 검사해 첨단 로직이나 D램, 3D 낸드 소자 형상을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
아처 750은 반도체 칩의 각 레이어에 형성되는 패턴이 이전 층 형상과 제대로 정렬이 이뤄지는지 검증하는 장비다. 인라인에서 공정 이탈점을 파악하고 패터닝 완성도를 향상시켜 D램과 3D 낸드 수율 개선과 양산을 지원한다.
스펙트라쉐이프 11K는 트랜지스터와 메모리 셀 등의 3D 구조를 모니터링한다. 웨이퍼 형상, 구조, 소재를 검사해 첨단 로직이나 D램, 3D 낸드 소자 형상을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
KLA 측은 “반도체 제조사들이 5G, AI, 에지 컴퓨팅 등에 적합한 고성능 반도체를 양산하는데 적합한 장비”라고 전했다.
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윤건일기자 benyun@etnews.com
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