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무라타, 장기 사용에도 센서 출력 변동값 0.5mg 이하로 낮춘 산업용 디지털 3축 MEMS 가속도 센서 개발

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무라타, 장기 사용에도 센서 출력 변동값 0.5mg 이하로 낮춘 산업용 디지털 3축 MEMS 가속도 센서 개발

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주식회사 무라타 제작소(이하 무라타)는 장시간 사용 시의 센서 출력 변동값(오프셋 라이프타임 드리프트)이 0.5mg(중력가속도) 이하인 산업기기용 디지털 3축 MEMS 가속도 센서 'SCA3400 시리즈'를 개발했다고 밝혔다. 해당 시리즈는 높은 내구성을 갖추고 있어, 교량이나 건물과 같은 구조물의 열화를 감지하는 구조물 안전성 모니터링 등의 용도에서 시스템의 신뢰성 향상에 기여한다.

최근 산업용 기기의 디지털화가 빠르게 진행됨에 따라, 구조물이나 설비의 오류나 손상을 자동으로 조기 감지하고 예지 보전을 실시하고자 하는 니즈가 높아지고 있다. 이러한 자동화 방식 중 하나로 센서를 활용한 동작 감지가 주목받고 있다.

교량이나 건물 등의 열화를 탐지하는 구조물 안전성 모니터링에서는 장기간의 모니터링이 반드시 필요한데 구조물 형상의 미세한 뒤틀림이나 변화를 정확히 파악하는 가속도 센서의 성능이 구조물 안전성 모니터링 시스템 전체의 신뢰성을 좌우한다. 그러나 기존의 고정밀 가속도 센서는 오프셋 라이프타임 드리프트의 값이 높기 때문에 사용 기간이 길어질수록 기준 위치의 오차가 커져, 구조물의 열화를 정확히 감지하기 어려운 문제가 있었다.

이에 무라타는 독자적인 MEMS 공정과 최신 회로 설계를 통하여 미세한 기울기 감지가 가능하고 오프셋 라이프타임 드리프트의 값이 0.5mg 이하인 SCA3400 시리즈를 개발했다. 해당 시리즈는 구조물 안전성 모니터링 등에서 사용되는 시스템의 장기적인 고정밀 측정에 기여 가능하다.

또한 진동과 온도 변화에 강해 가혹한 환경에서도 산업용 기기의 장기 사용이 가능하다. 센서 상태를 상시 모니터링하는 자가진단 기능을 탑재했으며 기존 제품과 동일한 크기와 출력 방식을 통해 고객의 추가 설계 부담을 최소화했다.

무라타 관계자는 “향후 고정밀 가속도 센서의 개발에 주력하여 다양한 시장의 니즈에 기여해 나갈 것”이라고 전했다. 신제품 양산은 오는 10월을 목표로 시작될 계획이다.


임민지 기자 minzi56@etnews.com

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