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아이에스티이, SK하이닉스 중국법인에 FOUP 클리너 추가 수주

디지털데일리 배태용 기자
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아이에스티이, SK하이닉스 중국법인에 FOUP 클리너 추가 수주

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[디지털데일리 배태용기자] 반도체 공정 자동화 장비 기업 아이에스티이가 SK하이닉스 중국 생산법인으로부터 FOUP Cleaner 장비를 추가로 수주했다. 신규 라인 증설보다 기존 팹의 공정 안정성과 운영 효율을 끌어올리는 보완 투자 흐름이 이어지는 모습이다.

14일 업계에 따르면 아이에스티이는 SK하이닉스 중국 생산법인과 약 18억원 규모의 FOUP Cleaner 장비 공급 계약을 체결했다. 납품 기한은 4월 15일까지다.

FOUP Cleaner는 웨이퍼 이송 과정에서 사용되는 FOUP(전면개방형 웨이퍼 운반용기) 내부 오염을 제거하는 장비로 공정 수율과 직결되는 핵심 설비로 꼽힌다. 특히 HBM을 포함한 고부가 메모리 공정에서는 미세 오염 관리 중요성이 커지면서 관련 장비 수요도 함께 늘고 있다.

중국 반도체 시장에서는 최근 신규 팹 투자보다는 기존 생산라인의 안정성과 생산성을 높이기 위한 공정 고도화 투자가 이어지고 있다. 메모리 공정의 난도가 높아지면서 생산라인 전반의 청정도 기준이 강화되는 흐름도 영향을 미치고 있다.

아이에스티이 관계자는 "국내 SK하이닉스는 물론 중국 생산법인까지 핵심 고객사의 국내외 생산거점 전반에서 FOUP Cleaner 장비 수주가 이어지고 있다"며 "신규 투자 지역뿐 아니라 기존 팹에서도 공정 고도화와 운영 안정성 강화를 위한 장비 수요가 꾸준히 발생하고 있다"고 말했다.

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