저스템은 삼성전자에 습도제어 장비인 'JFS'를 납품한다고 12일 밝혔다.
회사는 구체적인 수주액을 공개하지 않았지만, 310여대를 공급한다고 설명했다. 지난달 초도 물량 50여대를 납품한 데 이어 규모가 확대됐다.
JFS는 웨이퍼 운송 용기인 '풉(FOUP)' 습도를 제어하는 장비다. 반도체 공정에서 습도가 상승하면 불순물이 달라붙어 수율이 떨어질 수 있는데, JFS는 습도를 1% 수준까지 관리한다.
회사는 구체적인 수주액을 공개하지 않았지만, 310여대를 공급한다고 설명했다. 지난달 초도 물량 50여대를 납품한 데 이어 규모가 확대됐다.
JFS는 웨이퍼 운송 용기인 '풉(FOUP)' 습도를 제어하는 장비다. 반도체 공정에서 습도가 상승하면 불순물이 달라붙어 수율이 떨어질 수 있는데, JFS는 습도를 1% 수준까지 관리한다.
저스템은 삼성전자 수주를 계기로 메모리 이외 반도체 위탁생산(파운드리) 부문으로 사업 영역을 확대한다는 계획이다. 일본 반도체 제조사를 대상으로 해외 시장 진출도 타진하고 있다고 덧붙였다.
나동근 저스템 부사장은 “고대역폭메모리(HBM) 투자 확대와 첨단 파운드리 공정 고도화가 이어지고 있는 만큼 올해 JFS의 지속적인 수주를 추진하겠다”고 말했다.
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이호길 기자 eagles@etnews.com
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