표준연, 국내 기업에 불화수소 품질 검증 서비스 지원… “日 수출규제 대응”

반도체 공정 필수 소재 ‘고순도 불화수소’ 국산화 목표

한국표준과학연구원 연구팀이 국산 불화수소의 품질을 평가하는 모습./표준연

한국표준과학연구원이 고순도 불화수소의 국산화를 위해 국내 생산업체들에 순도 분석 서비스를 제공한다고 22일 밝혔다.

불화수소는 반도체 웨이퍼(기판)을 깎아 필요한 집적회로칩을 만드는 데 필요한 소재다. 칩의 제조 수율을 높이기 위해서는 일정 수준의 순도를 넘는 고순도 불화수소가 필요하다. 현재 쇼와덴코·모리타·스텔라 케미파 등 일본 업체가 세계 시장을 독점하고 있다.

정부는 작년 일본의 수출규제에 대응해 고순도 불화수소의 국산화를 시도하고 있지만, 국내 생산 불화수소의 순도를 분석할 수 있는 기술이 표준화되지 못해 생산품의 품질 검증에 어려움을 겪어왔다.

표준연은 작년 8월부터 15억원의 예산을 들여 관련 인프라를 구축한 끝에 본격 지원에 나서기로 했다. 실린더에 들어있는 액체 불화수소를 기체로 바꾼 후 질량분석기로 금속 성분 등 불순물을 분석해 순도를 측정한다. 이를 통해 기업들은 자사 생산품의 품질을 파악하고 개선할 수 있게 됐다.

표준연은 내년 상반기까지 표준 시험절차를 마련하고, 향후 불화수소 외 20여종의 다양한 반도체용 가스 소재에 대한 품질평가 기술도 확보할 계획이다.

김윤수 기자(kysme@chosunbiz.com)

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