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日 독점 반도체용 불화수소 국산화 속도낸다

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표준硏, 국내 기업 대상 반도체용 불화수소 품질평가 시작

헤럴드경제

가스분석표준그룹 산업용 독성가스분석표준팀이 불화수소 품질평가를 진행하고 있다. [한국표준과학연구원 제공]

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[헤럴드경제=구본혁 기자] 그동안 전량 일본에서의 수입에 의존해오던 불화수소 국산화가 속도를 낼 전망이다.

한국표준과학연구원은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공, 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다고 22일 밝혔다.

표준연은 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응하기 위해 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해왔다. 분석장비비 8억원, 시설구축비 7억원 등 긴급 자체 예산 15억원을 사용해 실험실을 완공했다.

이번 실험실 구축을 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험결과를 제공할 수 있게 됐다. 국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 산업 전반의 경쟁력 향상이 기대된다.

불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각 공정에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도의 불화수소가 필요하다. 고순도 불화수소는 쇼와덴코, 모리타, 스텔라케미파 등 일본 업체에서 세계 시장을 독점하고 있다.

국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라 표준화돼 있지 않다. 표준연에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실을 마련하면서 이를 해결할 수 있게 됐다. 사용되는 측정기술과 표준물질을 자체 개발했다는 점에서 더욱더 큰 의의가 있다.

불화수소의 품질평가는 불순물을 측정해 순도를 결정하는 방법으로 진행된다. 실린더에 들어 있는 액체 상태의 불화수소를 기체화해 가스의 조성을 분석한다. 기체 크로마토그래프와 ‘푸리에 변환’ 적외선 분석기를 이용해 10여종의 기체상 불순물을 분석하고, 유도 결합 플라스마 질량 분석기로 20여종의 금속 성분 불순물을 분석해 최종 순도를 결정한다. 개발업체는 표준연의 분석결과를 자사 제품과 비교해 부족한 점을 개선할 수 있다.

표준연은 이와 관련한 표준 시험 절차에서 개발을 내년 상반기에 완료하고, 20여종의 가스 소재에 대한 분석법 개발을 연차적으로 진행할 예정이다. 또 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최하는 등 국내 가스 소재업체의 기술 자립화 지원에 힘쓸 전망이다.

박현민 표준연 원장은 “지난해 하반기부터 ‘일본 수출규제 적극대응 위원회’를 운영하며 소재·부품·장비에 대한 신뢰성 평가기술 등을 지원해왔다”며 “표준연이 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가경쟁력 향상에 이바지하겠다”고 말했다.

nbgkoo@heraldcorp.com

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