KBSI, 반도체 열 측정 기술 민간에 이전

KBSI-나노스코프시스템즈 기술이전 협약

공초점 열반사 현미경

【대전=뉴시스】 이시우 기자 = 한국기초과학지원연구원(KBSI)은 공초점 열반사 현미경 기술을 공초점현미경 전문기업인 나노스코프시스템즈㈜에 이전한다고 23일 밝혔다.

공초점 열반사 기술은 반도체 동작 시 발생하는 열의 분포를 측정해 영상화하는 현미경 기술이다.

KBSI 광분석장비개발팀 장기수, 김동욱 박사 연구팀이 시료를 레이저로 스캔하면서 열반사율의 분포를 측정, 발열영상을 구현하는데 성공했다.

이 기술로 발열영상의 공간분해능을 높이고 시료 내부의 발열영상 측정도 가능하게 됐다.

기존 적외선 현미경 방식은 미세한 발열도 확인이 가능한 반면, 공간분해능이 3.0 마이크로미터(㎛)에 불과해 수 마이크로미터 이하 크기를 갖는 미세 반도체에는 활용이 어려웠다.

연구원은 이날 대덕본원에서 기술이전 협약식을 개최하고 선급기술료 5000만 원, 경상기술료 매출액의 5%에 기술을 이전하기로 했다.

기술을 이전받는 나노스코프시스템즈는 고분해능 발열영상을 제공하는 공초점 열반사 현미경을 개발해 시장에 출시할 계획이다.

KBSI 장기수 박사는 "이번 이전되는 기술은 새로운 아이디어를 구현한 세계 최고 수준의 발열영상 현미경 기술로, 우리 손으로 개발한 분석장비의 해외시장 진출도 가능하다"라며 "지속적인 기술 개발을 통해 국내뿐만 아니라 반도체, 디스플레이 소자의 발열특성 분석 수요가 많은 해외 선진국에서도 경쟁력을 갖추도록 할 계획"이라고 말했다.

issue@newsis.com

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